SCTS-2000系型双电测四探针测试仪的详细资料：

SCTS-2000系型双电测式四探针测试仪

关键词：双电测，导电薄膜，导体

SCTS-2000系型双电测式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高正确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。

一、主要特点：

1、根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；

2、也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。

3、换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

4、由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等部分组成。

二、基本技术参数

3.1 测量范围

电阻率：1×10^-4～2×10⁵Ω-cm，分辨率：1×10^-5～1×10²Ω-cm

方阻：5×10^-4～2×10⁵Ω/□，分辨率：5×10^-5～1×10²Ω/□

电阻：1×10^-5～2×10⁵Ω，分辨率：1×10^-6～1×10²Ω

3.2 材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定)

直径：圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限

SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.

长(高)度：测试台直接测试方式H≤100mm,手持方式不限.

测量方位:轴向、径向均可

3.3. 4-1/2 位数字电压表：

(1)量程：20.00mV～2000mV

(2)误差：±0.1%读数±2字

3.4 数控恒流源

(1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA，1A

(2)误差：±0.1%读数±2字

3.5 四探针探头（选配其一或加配全部）

(1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg可调

(2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg可调

3.6 电源

输入: AC 220V±10% ,50Hz功耗：<20W

3.7 外形尺寸：

主机220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（高）